ドライエッチング装置（高密度）
メーカーアルバック
型式NE-730
年式2002
外寸(本体)1700 x1300 xH1600
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.K30154
機械仕様基板サイズ：Φ８インチ
【ガス】
O2,Ar:：各100SCCM
CHF3,C4F8,CF4：各50SCCM
【電源】：ANTRNNA:RF500W,BIAS:RF200W
【バッチ/枚葉】：ロードロック式
【基板保持方法】：メカチャック
【付属品】
・排ガス処理装置
・ドライポンプPDR-060Cｘ2点
・チラー RISSHI CS-400SW
添付ファイル 動作チェックシート
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