洗浄装置・純水装置 洗浄装置 洗浄機 エキシマ光照射装置エキシマ洗浄装置 メーカーマルチプライ 型式EXPR-03-SB1 年式2007 外寸 展示場塩山テクニカルセンター 価格1,650,000円(税込) ASK管理No.K40127 在庫確認・お問合せ 機械仕様照射172nm 照射エリア230mm角 対象ワークサイズ:220x220 高さ4mm 電源AC100V 15A 窒素・水 外寸W850 D850 H1200 付属フィルターW450 D700 H550 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します