エキシマ光照射装置エキシマ洗浄装置

メーカーマルチプライ

型式EXPR-03-SB1

年式2007

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,650,000円(税込)

ASK管理No.K40127

機械仕様照射172nm 照射エリア230mm角
対象ワークサイズ:220x220 高さ4mm
電源AC100V 15A 窒素・水
外寸W850 D850 H1200
付属フィルターW450 D700 H550

添付ファイル 動作チェックシート

※ 以下の画像をクリックをすると拡大します