半導体(前工程) 半導体・製造装置 レジスト剥離・アッシング アッシング装置 NG メーカー東京応化工業 型式TCA-7822S 年式1998 外寸1200 2000 2100 展示場九州テクニカルセンター 価格お問合せください ASK管理No.K50605 在庫確認・お問合せ 機械仕様電源ラック① W850 D600 H2100 電源ラック➁ W600 D900 H2100 PCラック W600 D900 H1700 ユーティリティーユニット W800 D380 H2000 ※付属ドライポンプ無し(4台とも売却済み) 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します