スピンドライヤー
メーカー東邦化成
型式ZAA-H8-016
年式2000
外寸W1100 D1600 H1200
展示場九州テクニカルセンター
価格2,277,000円(税込)
ASK管理No.K50610
機械仕様排水サイズ 25A エア接続径:3/8
キャリアサイズ:8インチ×2個
インバーター:FR-E520-3.7K
30A
入力電源:単相AC100V 10A /三相200V
※使用環境：CR内
※搬送：手動
※必要ユーティリティ：ドライエアー、純粋、バキューム
※対応ウエハーサイズ：8インチのみ
添付ファイル 動作チェックシート
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