レジスト塗布装置
メーカー大日本スクリーン
型式SC-80EX
年式2017
外寸1520x2570x2600
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.K50713
機械仕様ウエハー 6インチ 8インチ
カセット 6.35mmピッチｘ25段(8インチ) 4.76mmピッチｘ25段(6インチ)
搬送精度 ±0.15mm以下
インデクサ ID-A(サイドローディング、非吸着タイプ)
レジスト系 ノズル独立移動 PTポンプ
レジストノズル 最大4基搭載 先端付近まで独立温調可能
スピンモーター回転数 -990～6000rpm
薬液 LA900(900cp)東京応化
リンス系 1系統 OK７3シンナ
ホットプレート プロキシミティ加熱 20～250℃
クーリングプレート プロキシミティ冷却 20～25℃
温調ユニット 電子冷熱 21～２５℃±3℃(0.1℃単位)
仕様書有り
添付ファイル
※ 以下の画像をクリックをすると拡大します
