メーカー東京応化工業

型式CSH8211D

年式2006

外寸－

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.K50725

在庫確認・お問合せ

機械仕様8インチ仕様 カセットステーション 2
ウェハ搬送ロボット:一式 温調プレート:二式
現像ユニット:二式 サーキュレーター:MCC-52W
クリーンユニット:MAC-Ⅱ-101-21
入力電源:三相AC200V 50/60Hz 40A

添付ファイル 動作チェックシート