メーカーダンタクマ

型式SR34

年式2017

外寸W6650 D1600 H2600

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ASK管理No.K50745

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機械仕様6/8インチ シリコンウェハ洗浄エッチング処理
1カセット25枚処理 12槽(上下左右揺動全自動)
槽ローダー、エッチング、純水洗い、乾燥、アンロード
外寸W6650 D1600 H2600　
建屋天井高さはH3600以上必要
重量：4500kg

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