エッチング装置(ウェット)
メーカーダン・タクマ
型式SR34
年式2017
外寸W6650 D1600 H2600
展示場
価格商談中
ASK管理No.K50745
機械仕様6インチ・8インチ シリコンウェハ洗浄エッチング処理
1カセット25枚処理全12槽(上下左右揺れ全て自動処理)
槽ローダー、エッチング、純水洗い、乾燥、アンロード
W6650 D1600 H2600 建屋天井高さはH3600以上必要
重量:4500kg
添付ファイル
※ 以下の画像をクリックをすると拡大します