エッチング装置(ウェット)

メーカーダン・タクマ

型式SR34

年式2017

外寸W6650 D1600 H2600

展示場

価格商談中

ASK管理No.K50745

機械仕様6インチ・8インチ  シリコンウェハ洗浄エッチング処理
1カセット25枚処理全12槽(上下左右揺れ全て自動処理)
槽ローダー、エッチング、純水洗い、乾燥、アンロード
W6650 D1600 H2600 建屋天井高さはH3600以上必要
重量:4500kg

添付ファイル

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