ウエハー顕微鏡(ウエハーローダー付き)

メーカーニコンインステック

型式ECLIPSE L200

年式1997年10月

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,870,000円(税込)

お問合番号K50776

機械仕様【顕微鏡】ECLIPSE L200 電源120vAC機の場合 AC100~120v  
50/60Hz 電源230vAC機の場合 AC230v 50/60Hz
接眼レンズ10x 対物レンズ2.5x、5x、10x、20x、50x
重量45kg 外寸W360D550H850
【自動搬送機】NWL860(s/n 1002209)
電源AC100~120v/220v~240v 6インチ、8インチ対応
WF裏面検査機構 50/60Hz 圧力-450Hg以下 重量50kg 外寸W530D620H275
※チェンジアームのスライド時、引っかかる(搬送、収納共に)
(個別動作では、引っ掛かりは発生しない)
※操作ボタンが効きずらい(修理可能)
【付属品】WF飛び出し監視装置 電源100v
センサー型式 PZ-G5 撮影用カメラ 型式COOLPIX P7800(s/n 20005582)
電源100v 記録媒体 SDカード 4GB

添付ファイル 動作チェックシート

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