蒸着装置
メーカーアネルバ
型式特型L-400EK-L
年式2002
外寸W1600 D1500 H2310
展示場都留テクニカルセンター
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ASK管理No.KC0476
機械仕様水量0.3MPa 9L/min 空圧0.55MPa
本体外寸W1600 D1500 H2310 重量1.0t
電源 3相200V 50/60Hz 60A
分割以外に付属品1点あります。
基板：50㎜角基板、TS間距離250㎜、基板加熱500℃
LL室排気_ターボポンプTG220F/TC221、真空槽_ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟP-121-GJ、補助ドライポンプ_V060HA、XTC膜厚計3台、蒸発電源3Kw,2Kw,1.5Kw
添付ファイル
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