メーカーObducat

型式Eitre6

年式2012

外寸W1100 D900 H1810(本体）

展示場塩山テクニカルセンター

価格8,855,000円(税込)

ASK管理No.L20112

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機械仕様対応寸法：6インチウエハー　UV光源
入力：AC400V　3φ　50/60Hz　※変圧器付属あり

添付ファイル 動作チェックシート