メーカーアネルバ

型式C-7500L

年式1998

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格お問合せください

ASK管理No.L30240

在庫確認・お問合せ

機械仕様研究開発用 多元スパッタリング装置　
L/L ターゲット２個　SPターゲット４個
スパッタ入力：AC200V　3φ　50/60Hz　60A

添付ファイル 動作チェックシート