メーカーアドウェルズ

型式RA100

年式

外寸W1300D1000H1750

展示場九州テクニカルセンター

価格2,860,000円(税込)

ASK管理No.L40356

在庫確認・お問合せ

機械仕様電源:1相100V
マスク寸法:4/5インチ
ウエハ寸法:3インチ
マークレイアウト:マーク間距離40～65mm
昇降ストロークMax5mm
CCDカメラ:視野サイズ1.2×0.9mm
レンズ倍率×4
露光光源部:有効照射径Φ100 UV強度60
ステージサイズΦ100mm

添付ファイル