メーカー昭和電工

型式クリーンエス　ZH-13

年式

外寸W750 D800 H1750

展示場九州テクニカルセンター

価格968,000円(税込)

ASK管理No.L40364

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機械仕様電源:1相100V　周波数 50/60Hz
(ドライエッチング排ガス処理装置)
クリーンエスZH-13
入口:NW40 出口:NW40
排気フランジサイズ: Ф130 内径: Ф58 ボルト4穴: Ф15(ピッチ75)
Air/N2接続サイズ: スウェージロック1/4
吸着式

添付ファイル