メーカーパナソニック

型式E620I

年式2013

外寸1000x2500x2000

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L40383

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機械仕様三相200V 75A 　単相100V 75A
重量1550KG 　4インチ仕様
EBARAドライポンプ付属 　SR20 s/nDFB03284
【使用ガス】
BCL3：200sccm　　CL2：200sccm
CF4：100sccm　　N2：100sccm
Ar：200sccm　　CHF3：100sccm

添付ファイル 動作チェックシート