メタルドライエッチング
メーカーパナソニック
型式E620I
年式2013
外寸1000x2500x2000
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.L40383
機械仕様三相200V 75A 単相100V 75A
重量1550KG 4インチ仕様
EBARAドライポンプ付属 SR20 s/nDFB03284
【使用ガス】
BCL3：200sccm CL2：200sccm
CF4：100sccm N2：100sccm
Ar：200sccm CHF3：100sccm
添付ファイル
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