メーカーパナソニック

型式E620I

年式2013

外寸1000x2500x2000

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L40383

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機械仕様三相200V 75A 単相100V 75A
重量1550KG 4インチ仕様
EBARAドライポンプ付属 　SR20 s/nDFB03284
【使用ガス】
BCL3　200sccm　CL2　200sccm
CF4　100sccm　N2　100sccm
Ar　200sccm　CHF3　100sccm

添付ファイル 動作チェックシート