薄膜ストレス測定装置
メーカーケーエルエー・テンコール
型式FLX-2320
年式1998
外寸600x500x500
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.L40384
機械仕様単相200V 温度範囲 室温～500℃
（低温オプションで－65℃～500℃）
/FLX-2320-S 最大25℃/min
測定再現性 1σ＝1.3MPa
（厚さ725μmのSi基板上
酸化膜1μmの場合）
重量46Kg
取説・仕様書有
添付ファイル
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