ドライエッチング装置
メーカー東京応化
型式TCE-2400
年式1992.3
外寸W700 D1200 H1600
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.L40400
機械仕様搬送：大気搬送 アームドライブ方式 適応カセット：3/16ピッチ 25枚収納カセット 発振方式：水晶発振 発振周波数13.56MHz 定格出力：最大出力1000w 真空計：ピラニー真空計 石英チャンバー：Φ240×145H(下部)Φ100×389H(上部) 排気ダクト：Φ50(真空ポンプ、オゾン排気)Φ100(本体排気、発振器) 真空ポンプ：エドワーズE2M40 電源：3Φ200V 1Φ100V 塗装剥がれ有り
添付ファイル
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