蒸着装置（EB)
メーカーキヤノンアネルバ
型式E-7000
年式2008.6
外寸W1350D1880H2100
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.L40401
機械仕様1/4本体：3Φ200V 100A 50/60Hz 水量本体0.3MPa10L/min 0.7MPa14L/min 空圧0.6～0.7MPa 2/4EBガン電源(EGP-210RS)：電源3Φ200V 60A 50/60Hz ビーム加速電圧-8kV エミッション電流0～1.25A フィラメント出力0～10V x 0～40A 外寸W560D550H1587 重量190Kg 3/4クライオコンプレッサ(P-421CA)：電源3Φ200V 50/60Hz 外寸W400D450H470 重量75Kg 4/4ロータリーポンプ(T2063SD)実行排気速度917/1080L/min 外寸W264D809H434 重量98Kg
添付ファイル
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