メーカー神港精機

型式AAMF-C2280SBR

年式2007

外寸1100x2000x3200

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L40514

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機械仕様処理室内寸 φ800mmxH1300mm
蒸発源 ルツボ6連式(12ccX6点)
偏向型電子銃(270)
10Kw電子銃電源　ドーム(R750 R900)
3相200V 42.8KVA 60/50Hz

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