スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPL-500
年式
外寸1900x1500x1900
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK No.L40519
機械仕様6インチ ワイドエロージョンカソード 3基
サイドスパッタ方式 最高温度 300℃
基板加熱機構・基板クリーニング機構・基板冷却機構(ガス冷却)搭載 基板ホルダーφ420
3φ200V 50/60Hz
添付ファイル
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メーカーアネルバ
型式SPL-500
年式
外寸1900x1500x1900
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK No.L40519
機械仕様6インチ ワイドエロージョンカソード 3基
サイドスパッタ方式 最高温度 300℃
基板加熱機構・基板クリーニング機構・基板冷却機構(ガス冷却)搭載 基板ホルダーφ420
3φ200V 50/60Hz
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