スパッタ装置

メーカーアネルバ

型式SPL-500

年式

外寸1900x1500x1900

展示場塩山テクニカルセンター

価格売却済

ASK No.L40519

機械仕様6インチ ワイドエロージョンカソード 3基
サイドスパッタ方式 最高温度 300℃
基板加熱機構・基板クリーニング機構・基板冷却機構(ガス冷却)搭載 基板ホルダーφ420
3φ200V 50/60Hz

添付ファイル

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