メーカー島津製作所

型式HSR-521A

年式1991

外寸1200x900x1700

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L40596

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機械仕様スパッタアップ方式 高周波マグネトロン放電
ターゲット距離 40～40mm ホルダー3個
基板取付枚数 4枚　最高加熱温度 300℃
チャンバー寸法 φ450x220H
基板ホルダー寸法 φ350
高周波出力 1KW 13.56MHz　2出力
三相 200V 30A

添付ファイル 動作チェックシート