半導体(前工程) 成膜・めっき スパッタ装置 スパッタリング装置 メーカー島津製作所 型式HSR-521A 年式1991 外寸1200x900x1700 展示場九州テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.L40596 在庫確認・お問合せ 機械仕様スパッタアップ方式 高周波マグネトロン放電 ターゲット距離 40~40mm ホルダー3個 基板取付枚数 4枚 最高加熱温度 300℃ チャンバー寸法 φ450x220H 基板ホルダー寸法 φ350 高周波出力 1KW 13.56MHz 2出力 三相 200V 30A 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します