メーカーキヤノンアネルバ

型式SPF-430H改造

年式2004

外寸1800x1100x1800

展示場九州テクニカルセンター

価格売却済

ASK管理No.L40597

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機械仕様装置構成 インターバック式
ウエハサイズ 4インチ、搬送方式 300mmトレーにて4インチ×6枚
スパッタ方式 ダウンスパッタ 前処理エッチング機構有り
φ4型プレーナー・マグネット・カソード3基搭載
スパッタ電源 1.5KW
基板加熱最高温度 300℃
3φ200V±10％ 100A 50Hz

添付ファイル