スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式l-1060SＶⅡ PLUS-1
年式2000年4月
外寸1800x2200x200
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.L40639
機械仕様φ125mm仕様 3φ200V 150A
L2 セラミック輻射型 200～300℃
L3 セラミックガス加熱 250～330℃
R3 セラミックガス加熱 350～500℃
R1 ランプ輻射型 RT～400℃
スパッタ電源 φ3 200V 125Ax2
(PDC-306 DC電源x2)
(PDC-157 DC電源)
使用材料 AISi Ti TiN
使用ガス Ar Ｎ2
添付ファイル
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