縦型アニール炉

メーカー光洋リンドバーグ

型式VF-1000

年式2000

外寸W700 D1000 H2580

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,650,000円(税込)

ASK No.L50330

機械仕様処理量:4インチウエハMax50枚
常用使用温度:400℃~1100℃
ヒーター:17kW
外形寸法:W700 D1000 H2580 & W1200 D1200 H2580
入力電源:3φAC200V 20.4kVA

添付ファイル

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