メーカー光洋リンドバーグ

型式VF-1000

年式2000

外寸W700 D1000 H2580

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,903,000円(税込)

ASK管理No.L50330

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機械仕様処理量：4インチウエハMax50枚
常用使用温度：400℃～1100℃
ヒーター：17kW
外形寸法：W700 D1000 H2580 & W1200 D1200 H2580
入力電源：3φAC200V　20.4kVA

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