真空蒸着装置
メーカー昭和真空
型式SGC-22SAC
年式1999
外寸W1160 D1240 H2050
展示場都留テクニカルセンター
価格売却済
ASK No.L70465
機械仕様電子ビーム蒸発源系(日本電子製)付属
EB電源 ハース6個 抵抗加熱源2式
電源 三相AC200V 50Hz 156A 54KVA
真空槽 Φ900×1125 排気系 クライオポンプULVAC U22H
光学膜厚制御システム SOCS-1α
水晶発振式膜厚モニター CRTM-7000付属
添付ファイル
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