CVD装置

メーカー東京エレクトロン㈱

型式MB2-730

年式2002

外寸1800x2800x2200

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L70595

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機械仕様インチサイズ：”８
使用ガス N2 Ar H2 WF6 CIF3 SiH4
190～220VAC 50/60Hz

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