CVD装置(本体のみ）

メーカー東京エレクトロン㈱

型式MB2-730

年式1998

外寸1800x2600x2200

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L70596

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機械仕様使用ガス N2 Ar WF6 CIF3 DCS
190～220VAC 50/60Hz

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