ターボ分子ポンプセット NG
メーカー島津製作所
型式TMP-1103LMP/EI-1103MD
年式
外寸ф300×330
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.L70622
機械仕様※回転翼手回し確認：ベアリング異音有
（TMP）
吸気フランジ径：VG200
排気口：NW40 冷却法：水冷式
排気速度：(H2)1040L/S
回転数：36000rpm
取付位置：全方向可能
許容周囲温度：0～40℃
（ コントローラー）
電源：単相200～40V 50/60HZ
ケーブル長：15m
添付ファイル
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