スパッタ装置
メーカーキヤノンアネルバ
型式E-401S
年式2008年10月
外寸1500x2200x2050
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.L70635
機械仕様4インチx5枚トレイ仕様 カセット 5段
スパッタダウン方式
自動成膜 最大φ220mm
静止対向成膜 最大 φ100mm
φ4型マグネットカソード 4基搭載
RF2元同時スパッタリング可能
基板-電極間距離変更可能(モーター駆動)
基板加熱最高温度 300°
3φ200V±10％ 100A 50/60Hz
添付ファイル
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