スパッタ装置

メーカーキヤノンアネルバ

型式C-7010C

年式2005

外寸3000x3600x2350

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L70637

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機械仕様枚葉式1C2T 4インチx2枚12段
マグネットカソード 4基搭載
DC電源2.5KW RF電源1,2KW
3φ200V 100 50/60Hz

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