メーカー芝浦メカトロニクス

型式CFS-8EP-55

年式2001

外寸1300x1100x1500

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.L70733

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機械仕様ダウンスパッタ方式　3種可能
2インチ セラミック基板(φ300有効面積あり)
膜厚分布 中心よりR150mm内
マグネトロンスパッタダウン
DCのコスパッタ及び積層成膜可能
ランプ加熱方式 最大350℃ 常用温度 300℃
真空槽内寸 φ550x380H SUS304
成膜材料 Pt Au Ti
3φ200V 50Hz 25KVA
仕様書有り

添付ファイル 動作チェックシート