ドライエッチング装置（高密度）
メーカーパナソニック
型式E628I
年式2007
外寸1000x2400x1900
展示場九州テクニカルセンター
価格5,500,000円(税込)
ASK管理No.L70770
機械仕様枚葉式 2カセット連続処理 6インチ仕様
チャンバー外寸 360x360x148(mm)
プラズマ方式マルチスパイラルコイルICP
RF電源 13.56MHz 1250W
上部電極 石英天板(φ348)
上部電極加熱 50～100℃
電極間距離 122mm 3φ200V 75A
【使用ガス】C4F8 100sccm
CF4 200sccm SF6 100sccm
Ar 400sccm O2 200sccm
N2 20sccm He 50sccm
添付ファイル 動作チェックシート
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