CVD装置
メーカーサムコ
型式PD-270STL
年式2006
外寸1210x2730x2100
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.L70771
機械仕様適用基板：最大φ4x3枚処理
反応内径：φ425mm H200mm
電極構造：無遮蔽型平行平板電極
加熱機構：恒温サーキュレーター方式
使用温度：25～200℃
高周波電源：13.56MHz Max.1KW
液体ソースタンク温度制御範囲：60～85℃
配管加熱温度制御範囲：35～80℃
TEOSタンク容量：2L
3φ AC200V 125A 50Hz
使用ガス【C2F6 O2 TEOS】
添付ファイル
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