CVD装置
メーカーサムコ
型式PD-200STN
年式
外寸1370x1800x2000
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.L70773
機械仕様適用基板：最大φ6x１枚処理
電極構造：無遮蔽型平行平板電極
加熱機構：抵抗加熱方式
上部 Max.400℃ 常用300℃以下
下部 Max.400℃ 常用350℃以下
高周波電源：13.56MHz Max.500W
液体ソースタンク温度制御範囲：60～85℃
配管加熱温度制御範囲：35～80℃
TEOSタンク容量2L 3φ AC200V
使用ガス【CF４O2 N2】
添付ファイル
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