エッチング装置(高密度)

メーカーアネルバ

型式L-101D-DFR

年式2005

外寸W2200 D1200 H1500

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.L70774

機械仕様使用ガス:C4F8 Ar O2 N2 He
入力電源:三相AC200V 50Hz 150A
重量:700kg

添付ファイル 動作チェックシート

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