半導体(前工程) 半導体・製造装置 ドライエッチング エッチング装置(高密度) メーカーアネルバ 型式L-101D-DFR 年式2005 外寸W2200 D1200 H1500 展示場九州テクニカルセンター 価格お問合せください ASK管理No.L70774 在庫確認・お問合せ 機械仕様使用ガス:C4F8 Ar O2 N2 He 入力電源:三相AC200V 50Hz 150A 重量:700kg 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します