半導体(前工程) 半導体・製造装置 ドライエッチング エッチング装置(高密度) メーカーアネルバ 型式L-101D-DFR 年式2005 外寸2200x1200x1500 展示場九州テクニカルセンター 価格6,600,000円(税込) ASK管理No.L70774 在庫確認・お問合せ 機械仕様3φ200V 50HZ 150A 使用ガス C4F8 Ar O2 N2 He 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します