メーカーアネルバ

型式L-101D-DFR

年式2005

外寸W2200 D1200 H1500

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.L70774

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機械仕様基板サイズ:φ6インチ
使用ガス:C4F8 Ar O2 N2 He
プラズマ電源上部電極:60MHz/2.3KW
空圧 0.7MPa 到達圧力:8.0E-4 Pa
入力電源:三相AC200V 50Hz 150A 重量:700kg

添付ファイル 動作チェックシート