ドライエッチング装置
メーカーアルバック
型式RH-3030P
年式1992
外寸W1700 D1550 H2000
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.L70775
機械仕様材質 セラミック
基板電極サイズ:エッチング電極 500L×500W(mm)
対向電極 500L×500W
ｴｯﾁﾝｸﾞ条件:平行平板型方式(フェイスアップ）
基板間距離 30～80mm 電源:3kW（1356MHz）
加熱機構 RF電極 5～45℃
入力電源:三相AC200V 50Hz
添付ファイル
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