スパッタ装置
メーカーキヤノンアネルバ
型式E-402S
年式2008
外寸2150x2250x2200
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.L70777
機械仕様ワーク：Φ8in、Φ6inウェハ
装置構成：LL室→Traverser 室→左右にSP１室、SP2室
スパッタ室：W580xL980xH305mm(外寸)
スパッタアップ方式
カソードφ317mm非磁性材料用RMC SP室に各1基
ターゲット寸法 約φ310x5t
ホルダー形状
φ370mm熱伝導用ガス機構付き加熱ホルダー、逆スパッタ可能
上下ストローク 約200mm
電極間距離 約50mm～250mm
スパッタ電源
DC電源 3.0Kw RF電源 5.0Kw 600W
3φ200V 50/60Hz 150A
添付ファイル
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