プラズマ処理装置
メーカーエスクラフト
型式WLP600S
年式2010.8
外寸W600 D1600 H1850
展示場九州テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.L70822
機械仕様1/4本体 対応ウエハ:6・8インチ兼用
RF電源(AX-600Ⅲ)
最大出力600W シリコンラバーヒーター:1500W
入力電源:三相200V 50Hz 60A
エアー継手径1/4スエジ プロセスガス径1/4VCR
N2ガス3/8VCR 排気ダクトφ100
2/4ドライポンプ(SDE303A)
排気能力5000L/min 吸気口NW50 冷却水Rc3/8 熱排気Φ50
3/4チラー(CH-402B)制御範囲：常温～＋80℃
循環ポンプ25L/min
4/4PC
添付ファイル 動作チェックシート
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