スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式L-501S-FHL
年式2004年2月
外寸3900x1800x2600
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.L70849
機械仕様スパッタアップ方式 φ6インチ
SP1室 φ500ｍｍ
カソード φ317mmPMC
ホルダー形状 φ290mm加熱冷水ホルダー
収納基板 φ150基板トレイ1枚
ストローク 約100mm
電極間距離 約50mm～150mm
SP2室 φ500mm
カソード TGT1及びTGT2 φ100mmPMC
カソード取付位置 PCD260mm
ターゲット寸法 非磁性材φ101.6x5t(2基)
TGT3 φ100mmRMC
カソード取付位置 PCD200mm
ターゲット寸法 Ni磁性材φ110x4t(1基)
ホルダー形状 φ290mm加熱冷水ホルダー
収納基板 φ150基板トレイ1枚
ストローク 約300mm
電極間距離 約100mm～400mm
RF電源 5KW(SP1室)
添付ファイル
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