蒸着装置

メーカー

型式

年式

外寸W1540 D1240 H1610

展示場塩山テクニカルセンター

価格売却済

ASK管理No.LA0319

機械仕様チャンバー外形寸法(約):φ350 H530
ゲートバルブ:VAT(10840-CE24-0006)2台
ヒーター電源:Biemtron 3台

添付ファイル

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