スピン洗浄装置
メーカーソフエンジニアリング
型式GPC-7000M-18
年式2017
外寸W1850 D1700 H1000
展示場九州テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.LB0686
機械仕様洗浄液:弱アルカリ系もしくはUPW
チャンバーサイズ:φ1000mm(インナー有効)
モータ回転数:50~1500rpm 基板材質 石英基板・青色基板
サイズ:24×26インチ(609.6×660.4mm) 角基板
25×26インチ(635×660.4mm) 角基板
厚さ:4.6t~5.0t
添付ファイル 動作チェックシート

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