スピン洗浄装置
メーカーソフエンジニアリング
型式GPC-7000M-18
年式2017
外寸W1850D1700H1000
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.LB0686
機械仕様基板材質 石英基板・青色基板
サイズ 24x26インチ(609.6x660.4mm) 角基板
25x26インチ(635x660.4mm) 角基板
厚さ 4.6t～5.0t 重量 MAX6Kg
モータ回転数 50～1500rpm
チャンバーサイズ φ1000(インナー有効)
洗浄液 弱アルカリ系もしくはUPW
3φ 200V 50/60HZ 125A
添付ファイル 動作チェックシート
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