メーカーソフエンジニアリング

型式GPC-7000M-18

年式2017

外寸W1850 D1700 H1000

展示場九州テクニカルセンター

価格5,313,000円(税込)

ASK管理No.LB0686

在庫確認・お問合せ

機械仕様チャンバーサイズ:φ1000(インナー有効)
洗浄液:弱アルカリ系もしくはUPW
モータ回転数:50～1500rpm
基板材質 石英基板・青色基板
サイズ:24×26インチ(609.6x660.4mm) 角基板
25×26インチ(635x660.4mm) 角基板 厚さ:4.6t～5.0t

添付ファイル 動作チェックシート