蒸着装置(EB)

メーカーアルバック

型式EBX-10C

年式2007

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格11,385,000円(税込)

ASK管理No.LC0084

機械仕様真空サイズ:φ650 H800（SUS304）
E/B電源:10kW
基盤加熱:ランプヒーター150℃（max200℃）
クライオポンプ（アルバック:U-10PU）
入力電源:三相AC200V 60Hz

添付ファイル

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