真空蒸着装置
メーカーオプトラン
型式OTFC-1300DBI
年式2006
外寸W4325 D4610 H2910mm
展示場都留テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.M10330
機械仕様真空チャンバー：SUS304 Φ1300×H1610㎜
基板ドーム：Φ1150㎜
光学膜厚制御：HOM2-R-VIS350A光学モニタ
反射式／透過式
・水晶式膜厚計：XTC/2+6点ロータリーセンサ
・蒸着源：電子銃1基、抵抗加熱1基
イオンソース：17cmRFイオンソース
排気系：あらびきポンプ+拡散ポンプ2基とポリコールド
基板加熱温度：Max350℃
添付ファイル
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