アニール炉
メーカーアルバック
型式RTA-6000
年式2009
外寸1820x2400x1850
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.M20462
機械仕様4インチ（6インチ）SiC仕様
常用 RT～1000℃ Max1050℃
温度レシピ
10℃/s→850℃ 180sec→300℃ 約200sec
10℃/s→1000℃ 200sec→300℃ 約200sec
最大加熱速度 10℃/sec RT～1000℃
放物面反射赤外線輻射加熱方式
3φ200V 25.4KVA
添付ファイル
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