メーカー萩原エンジニアリング

型式H2150701

年式2016.5

外寸W500D1100H1800

展示場九州テクニカルセンター

価格1,903,000円(税込)

ASK管理No.M20469

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機械仕様対応基板：NSR用5インチ/MPA用マスク ケース：NSR/周辺装置用レチクルケース
改造レチクルケース(マスク用)
検査角度：40度
処理能力：40枚/h
エアー圧：5Kg/cm³
エアー使用量：100L/min
電源：1相100V 60Hz

添付ファイル