メーカーアルファウェーブ

型式

年式

外寸W700D500H1100

展示場九州テクニカルセンター

価格660,000円(税込)

ASK管理No.M20471

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機械仕様適応ウエハー：4インチ
電源：1相100V
エアー/バキューム接続口：1/4インチ
エアー圧：5～7MPa
バキューム圧：-100～-20KPa

添付ファイル 動作チェックシート