メーカーケミトロニクス

型式HC-3001型

年式2003

外寸W1500 D1700 H1760

展示場都留テクニカルセンター

価格1,903,000円(税込)

ASK管理No.M40379

在庫確認・お問合せ

機械仕様対象ワーク:外径φ50×厚み1mm以下のウェーハ
処理枚数:1枚(均熱エリアφ50×50L)
炉体外寸:φ300×約500L(15Kw)×6連
温度仕様:1150℃(N2 1気圧中)
昇温レート:15℃/min(N2 1気圧中)

添付ファイル