メーカーケミトロニクス

型式HC-3001型

年式2003

外寸W1500 D1700 H1760

展示場都留テクニカルセンター

価格1,650,000円(税込)

ASK管理No.M40379

在庫確認・お問合せ

機械仕様対象ワーク：外径Φ50×厚み1mm以下のウェハー
処理枚数：1枚(均熱エリアΦ50×50L)
炉体外寸：Φ300×約500L(15Kw)×6連
温度仕様：1150℃(N21気圧中)
昇温レート：15℃/min(N21気圧中)
外寸 W1500 D1700 H1760

添付ファイル