6連熱処理炉

メーカーケミトロニクス

型式HC-3001型

年式2003

展示場都留テクニカルセンター

価格お問合せください

お問合番号M40379

機械仕様対象ワーク:外径Φ50×厚み1mm以下のウェハー
処理枚数:1枚(均熱エリアΦ50×50L)
炉体外寸:Φ300×約500L(15Kw)×6連
温度仕様:1150℃(N21気圧中)
昇温レート:15℃/min(N21気圧中)
外寸 W1500 D1700 H1760

添付ファイル

※ 以下の画像をクリックをすると拡大します

タイトルとURLをコピーしました