段差・膜厚測定装置

メーカーKLAテンコール

型式AS-500(Alpha-Step 500)

年式1997

外寸W490 D790 H670

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.M40643

機械仕様電源:90~110V、50/60Hz
測定:触針式
垂直方向分解能:1Å/±6.5μm
測定範囲:25Å/±150μm
操作距離:10mm
操作速度:2~200μm/秒
サンプルサイズ/アクセス範囲:最大162mmΦ
カメラ:70~210倍
※オーバーホール済み

添付ファイル 動作チェックシート

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