ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
メーカー大宮工業
型式OKV-D61N
年式2008
外寸幅423mm × 奥行839mm × 高さ780mm
展示場
価格商談中
ASK管理No.M40666
機械仕様 基本仕様
• 対応ウエハサイズ： 2インチ～6インチ
• 本体外装： 正面・側面：SUS304（ステンレス）、背面：PVC
• ローター材質： SUS316L（電解研磨処理）
• イオナイザー： 標準装備
• エアフィルター： ULPAフィルター搭載
• 最大回転数： 3,000 rpm
• タイマー設定： 1速～8速（0～999秒）
添付ファイル
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