真空装置

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展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.M40684

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機械仕様4インチカソード　3元　スパッタDOWN
DC電源：MDX-052/MDX-5K　（5Kw）1台
クライオポンプ：U-10PU/C30
φ350㎜搬送トレイ
赤外線ランプ加熱

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