メーカー東京精密(TSK)

型式UF200

年式2001.2

外寸W1150 D1130 H1740

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.M40975

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機械仕様対応ウエハー：5、6、8インチ
XY軸：プロービングエリア±120mm
最高速度200mm/s
Z軸：フルストローク69mm
エアー供給：0.4MPa以上
真空：-53KPa以上
電源：200V 50/60Hz 1.5KVA

添付ファイル